1 ·概述

潔凈室(Clean R。om）亦稱為無(wú)塵室或清凈室，通常稱潔凈室的建造工程為凈化工程。凈化工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，目前在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用。潔凈室根據(jù)不同行業(yè)對(duì)精密程度與無(wú)塵要求，等級(jí)差別較大，投資成本的差別也很大。毋庸置疑的是潔凈室的建造成本是工廠總建造成本的重要決定因素之一（在造價(jià)中所占具體比例與所需潔凈室的級(jí)別和面積有關(guān)），故對(duì)潔凈室的建造成本進(jìn)行分析具有一定的現(xiàn)實(shí)意義。

2．潔凈室與潔凈技術(shù)

2，1潔凈室的定義

潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式可最大限度減少房間進(jìn)入的、產(chǎn)生的和滯留的粒子。房間內(nèi)的溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數(shù)均按要求受控(ISO 14644一6）。

2 · 2潔凈技術(shù)在中國(guó)的發(fā)展

在中國(guó)，潔凈技術(shù)的起步和奠基階段是六十年代初至七十年代末。1965 年，由中國(guó)建筑科學(xué)研究院空氣調(diào)節(jié)研究所和蚌埠絕緣材料廠等單位研制完成帶波紋隔板的高效空氣過(guò)濾器通過(guò)鑒定，標(biāo)志了我國(guó)潔凈技術(shù)開(kāi)始正式起步。同時(shí)，一此電子技術(shù)、精密機(jī)械和國(guó)防工業(yè)相關(guān)的設(shè)計(jì)院，也在探索、研究潔凈室的工程設(shè)計(jì)。1965年建成的沈陽(yáng)119廠和石家莊13所就是由三機(jī)部四院（現(xiàn)航空工業(yè)部第四設(shè)計(jì)院）和四機(jī)部第二設(shè)計(jì)院（現(xiàn)中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院）分別參照原蘇聯(lián)的妝化等級(jí)設(shè)計(jì)建設(shè)的。到七十年代末至八十年代末，這十年間，中國(guó)的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽(yáng)光燦爛的發(fā)展階段，許多標(biāo)志性的重要成果，幾乎都誕生在這個(gè)階段，如標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范制定與國(guó)際交往方面；生物潔凈室在醫(yī)療方面陸續(xù)得到推廣應(yīng)用；在產(chǎn)品研制與開(kāi)發(fā)方面達(dá)到八十年代國(guó)外的技術(shù)水平等等。九十年代初至今，是國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)與國(guó)際全國(guó)接軌，走向規(guī)范化的時(shí)代。隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)始終保持穩(wěn)定的高速增長(zhǎng)，國(guó)際投資持續(xù)注入，一批跨國(guó)集團(tuán)在中國(guó)陸續(xù)興建了眾多的微電子工廠因此國(guó)內(nèi)技術(shù)與研究人員有更多機(jī)會(huì)直接接觸國(guó)外高級(jí)別潔凈室的設(shè)計(jì)理念，了解世界的先進(jìn)設(shè)備和裝置、管理與維護(hù)等等。從這方面來(lái)看，的確從各個(gè)角度與國(guó)際日益接軌。

2．3潔凈室的分類(lèi)

(1)按氣流流型潔凈室可劃分為：

※單向流潔凈室

※非單向流潔凈室

※混合流潔凈室

※矢流潔凈室

（2）按潔凈室主要控制對(duì)象劃分潔凈室又可劃分為：

※工業(yè)潔凈室

※生物潔凈室

3．潔凈室的應(yīng)用

潔凈室主要運(yùn)用于以下三個(gè)行業(yè)：

(1)電子信息產(chǎn)業(yè)

〈2）食品、化妝品、制藥工業(yè)與生物工程

（3）疾病控制與醫(yī)療衛(wèi)生事業(yè)在以上不同領(lǐng)域中，潔凈室有不同的控制特點(diǎn)，從而造成潔凈工程的造價(jià)有所不同，詳見(jiàn)表1。

表1不同領(lǐng)域潔凈室的控制特點(diǎn)

表1不同領(lǐng)域潔凈室的控制特點(diǎn)

3，潔凈室的經(jīng)濟(jì)性分析

3，1潔凈室根據(jù)氣流型分類(lèi)的經(jīng)濟(jì)情況

我們知道，影響不同潔凈級(jí)別潔凈室造價(jià)的主要指標(biāo)是風(fēng)量、冷量及耗電量等。在工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中，采用氣流類(lèi)型主要有單向流及非單向流類(lèi)型。

非單向流潔凈室廣泛用于電子工業(yè)、生物醫(yī)藥工業(yè)和各種工業(yè)潔凈室，這類(lèi)潔凈室的進(jìn)化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)通常采用頂送側(cè)回、頂送頂回等方式，在潔凈生產(chǎn)區(qū)的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)布置送回風(fēng)管、排風(fēng)管和和各種公用動(dòng)力管線等。

單向流潔凈室主要用于電子工業(yè)和生物制藥生產(chǎn)的局部區(qū)域。在生物醫(yī)藥產(chǎn)品生產(chǎn)中主要采用局部設(shè)置層流罩或凈化工作臺(tái)或生物安全柜等來(lái)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在電子工業(yè)中的微電子產(chǎn)品或一些電子器件產(chǎn)品生產(chǎn)中需要一個(gè)房間或一條生產(chǎn)線，甚至數(shù)條生產(chǎn)線的主要工序均需設(shè)置在嚴(yán)于5級(jí)的潔凈室內(nèi)，才能達(dá)到產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。為此，單向流潔凈室的空間布置己從 “單層”布置發(fā)展到“多層”布置�！皢螌印辈贾玫膯蜗蛄鳚崈魪S房，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層，在上技術(shù)夾層內(nèi)布置送風(fēng)管道、部分公用動(dòng)力管線，通過(guò)設(shè)在頂棚上的高效過(guò)濾器向潔凈生產(chǎn)區(qū)均勻送風(fēng)；通過(guò)設(shè)在下技術(shù)夾層的回風(fēng)地板回風(fēng)至空氣處理裝置。“多層”布置的單向流潔凈廠房的主要特點(diǎn)是將潔凈生產(chǎn)區(qū)與供應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝所需的各類(lèi)公用動(dòng)力管線、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝管線及工藝輔助設(shè)施等都布置在下技術(shù)夾層（底層）內(nèi)，同潔凈生產(chǎn)區(qū)分層布置。

由于上述兩類(lèi)氣流類(lèi)型潔凈室的送風(fēng)量和耗冷指標(biāo)有較大的不同，從而導(dǎo)致初期投資和運(yùn)行費(fèi)用有較大的差別。通過(guò)對(duì)實(shí)際工程的設(shè)計(jì)回訪及潔凈室工程公司的功問(wèn)，我們對(duì)不同氣流類(lèi)型潔凈室不同級(jí)別造價(jià)進(jìn)行了統(tǒng)計(jì)，詳見(jiàn)表2：

161

表2常用氣流型潔凈室相關(guān)指標(biāo)比較閉

表2常用氣流型潔凈室相關(guān)指標(biāo)比較閉

注：※表中的送風(fēng)量、單向流以斷面風(fēng)速表示，非單向流以換氣次數(shù)表示。

※表中冷量指標(biāo)一般指電子工業(yè)潔凈廠房。

※表中的初投資包括潔凈廠房的圍護(hù)、照明、冷凍供應(yīng)系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)，不含土建結(jié)構(gòu)、工藝供電和自動(dòng)控制的投資，造價(jià)水平為2005 · 2009年左右。

※表中的耗電量系指制冷系統(tǒng)和空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)耗電，不含電加熱和電加濕的耗電量。

3．2 6、7級(jí)潔凈室不同方案的冷凍空調(diào)工程造價(jià)情況模擬我們?cè)趯?shí)際工程應(yīng)用中，經(jīng)常需要的對(duì)潔凈廠房的造價(jià)進(jìn)行估算，不同的潔凈等級(jí)，采用不同品牌產(chǎn)品，不同設(shè)計(jì)方案，對(duì)工程造價(jià)的影響也是不同的。因此僅僅通過(guò)表2的單位投資指標(biāo)，難以準(zhǔn)確的估算工程造價(jià)。本文通過(guò)對(duì)常見(jiàn)的凈化廠房進(jìn)行模擬和比選，得出相關(guān)數(shù)據(jù)，對(duì)技術(shù)經(jīng)濟(jì)人員及設(shè)讠1、人員進(jìn)行投資估算提供參考。

通過(guò)對(duì)歷年工程實(shí)例的統(tǒng)計(jì)，在電了廠房的設(shè)計(jì)中，潔凈級(jí)別6級(jí)和7級(jí)是比較常見(jiàn)的，因此我們選用了這兩個(gè)級(jí)別作為本次實(shí)驗(yàn)的模擬環(huán)境，并區(qū)分采用高效過(guò)濾器和采用FFU方案，在選用外資、合資與國(guó)內(nèi)品牌產(chǎn)品的情況，進(jìn)行模擬。為了區(qū)別紛繁復(fù)雜的實(shí)際情況，我們對(duì)模擬對(duì)象進(jìn)行了適當(dāng)簡(jiǎn)化，實(shí)驗(yàn)的基本情況如下：

(1)本次模擬對(duì)象為約3300平方米的普通電子潔凈室。潔凈室具體情況見(jiàn)圖1和圖2。

（2） 終端設(shè)備采用兩種方案進(jìn)行設(shè)計(jì)：方案1采用高效過(guò)濾器；方案2采用

FFUO

（3） 計(jì)算范圍：本次計(jì)算的工程量?jī)H含潔凈室冷凍供應(yīng)系統(tǒng)及空調(diào)凈化系統(tǒng)的設(shè)備及安裝材料（風(fēng)管、閥門(mén)、風(fēng)口）等，不包括潔凈室配套的土建裝飾、照明、控制等費(fèi)用。

團(tuán)計(jì)算依據(jù)：《建設(shè)工程工程量清單計(jì)價(jià)規(guī)范》（GB50500一2003），《深圳市建筑工程消耗量標(biāo)準(zhǔn)》（2003），《深圳市安裝工程消耗量標(biāo)準(zhǔn)》（2003），《深圳市建設(shè)工程價(jià)格信息》2010年第1、7期，《廣東工程造價(jià)》（1、14期），廠商詢價(jià)報(bào)價(jià)。